簡易檢索 / 檢索結果

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    探討化學機械拋光於多晶氮化鋁平坦化之研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 賴厚州 指導教授: 陳士勛
    • 隨著高功率電子元件的發展,因應效能的提升勢必產生更多熱能,為了避免高溫對元件的可靠度及運作帶來影響,多晶氮化鋁因具有高熱導率、高絕緣性及低成本,適合作為高功率電子元件的散熱基板。然而,多晶氮化鋁基板…
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